Язык сайта: RU BY
  • г. Минск, пр-т Независимости, 72
  • г. Минск, ул. Богдановича, 46
Задать вопрос Уточнить стоимость и наличие любой книги
Viber Написать на Viber Viber Написать на Viber

Высокостабильные элементы и структуры для изделий наноэлектроники

Зеленин, В. А.
  • ISBN: 978-985-08-2875-0
  • Издательство: Беларуская навука
  • Год: 2022
  • Страниц: 290
  • Тип переплёта: твёрдый
  • Формат: 170х240
Купить в интернет-магазине
Уточнить наличие по телефону:
  • г. Минск, пр-т Независимости, 72
  • г. Минск, ул. Богдановича, 46

Монография посвящена разработке новых многокомпонентных материалов для изделий наноэлектроники. Рассмотрены методы расчета азеотропных и эвтектических составов резистивных сплавов. Установлены механизмы и закономерности рекристаллизации и фазовых превращений, протекающих при термообработке многокомпонентных пленок и многослойных структур, содержащих тугоплавкие и редкоземельные элементы, их влияние на стабильность электрических параметров элементов интегральных микросхем (ИМС). Рассмотрены процессы, протекающие в объеме и на границах раздела многослойных структур при их формировании и при последующих высокоэнергетических воздействиях. Приведены данные по влиянию технологических параметров изготовления на структуру, фазовый состав и стабильность электрофизических свойств элементов ИМС.
Рассчитана на широкий круг научных и инженерно-технических работников, специалистов в области микро- и наноэлектроники, может служить в качестве учебного пособия по теоретическим вопросам конструирования и производства ИМС для студентов и аспирантов вузов.
Табл. 43. Ил. 148. Библиогр.: 183 назв.
 

Есть вопросы?

Вы можете уточнить стоимость и наличие любой книги, а также получить консультацию нашего продавца.