Принципы функционирования, типовые конструкции исполнительных элементов и устройства микросистемной техники: учебное пособие

Учебное пособие «Принципы функционирования, типовые конструкции исполнительных элементов и устройства микросистемной техники» включает в свой состав разделы, посвященные принципам функционирования, назначению, элементам конструкции и типовым устройствам микросистемной техники и микророботам.
Пособие предназначено для студентов, обучающихся по специальности 2.28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» при изучении дисциплины «Основы конструирования микросистемной техники», а также в качестве вспомогательного материала магистрантам по направлению подготовки 2.12.04.01 «Приборостроение» по дисциплине «Нано- и микросистемная техника и технология в производстве приборов и измерительных систем летательных аппаратов» и аспирантам по специальностям 2.28.06.01 «Нанотехнологии и наноматериалы», 2.11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи», 2.11.02.13 «Твердотельная электроника».